發(fā)布時(shí)間:2021-07-01
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荷蘭BRONKHORST熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)有哪些區(qū)別以及使用方法
熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要的區(qū)別在于:氣體質(zhì)量流量控制器可以通過自身帶的閥門做PID調(diào)節(jié)程序,能夠自動(dòng)的調(diào)節(jié)和控制閥門的開度,來達(dá)到控制氣體的質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計(jì)主要是通過傳感器,感應(yīng)氣體的流量大小,并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的大優(yōu)點(diǎn)就是檢測(cè)出來的實(shí)際數(shù)據(jù),不會(huì)受到溫度和壓力的影響,實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)用戶也無需在進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償?shù)膿Q算。
質(zhì)量流量控制器(MFC)由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓等。
F-201CV系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要用于:擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中,并廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。
蘇州知非機(jī)電設(shè)備有限公司-優(yōu)勢(shì)供應(yīng)荷蘭BRONKHORST布朗克霍斯特
日本KOFLOC小島流量計(jì)和流量控制器
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美國AALBORG流量計(jì)和流量控制器
國產(chǎn)YIDU易度智能流量計(jì)和流量控制器
常用型號(hào)如下
荷蘭BRONKHORST流量控制器 M12-AGD-22-0-S
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荷蘭BRONKHORST低壓差質(zhì)量流量計(jì) F-201EV-AAD-33-K
荷蘭BRONKHORST流量控制器 F-201AC-FGD-33-V
荷蘭BRONKHORST質(zhì)量流量計(jì) F-113AI-1MO-MGD-55-V;1000slm(H2),5bar(g),20℃
荷蘭BRONKHORST質(zhì)量流量計(jì) F-116AI-MGD-EE-V;2000slm(H2),5bar(g),20℃
荷蘭BRONKHORST質(zhì)量流量計(jì) F-116BI-AGD-FF-V;4000slm(H2),5bar(g),20℃
荷蘭BRONKHORST質(zhì)量流量計(jì) F-116AI-AGD-55-V 2000In/min H2 22Bar(g) 40℃
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荷蘭BRONKHORST流量控制器 EL-FLOW FS-201CV-20-PGD-00-V
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荷蘭BRONKHORST流量計(jì) mini Cori-Flow M14-MGD-99-0-S
荷蘭BRONKHORST壓力控制器 P-602CV-1K1A-ABD-00-V
荷蘭BRONKHORST流量計(jì) FS-201CV-100-PGD-00-V
荷蘭BRONKHORST液體流量控制器 F-202AI-M10-AAD-22-V
荷蘭BRONKHORST流量控制器 FS-201CV-500-PGD-00-V
荷蘭BRONKHORST液體流量控制器 F-202AI-M20-AGD-44-V
荷蘭BRONKHORST液體流量控制器 L30C2I-ABD-33-K
荷蘭BRONKHORST流量計(jì) FS-201CV-1K0-PGD-00-V
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荷蘭BRONKHORST流量計(jì) FS-201CV-200-PGD-00-V
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荷蘭BRONKHORST流量控制器 F-200CV-002-AAD-19-V
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