發(fā)布時(shí)間:2022-07-12
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SEMI-E第四屆深圳國際半導(dǎo)體及顯示技術(shù)展
2022.8.4-8.6 深圳國際會(huì)展中心(寶安新館)2022.127-12.9
ALICAT質(zhì)量流量計(jì)和ALICAT質(zhì)量流量控制器有助于提高過程控制和校準(zhǔn)效率。艾里卡特提供多種配置方法,為您定制適用于低壓損、高壓環(huán)境或腐蝕性應(yīng)用的氣體流量計(jì)或控制器。標(biāo)準(zhǔn)功能包括實(shí)時(shí)讀數(shù)、閥門快速動(dòng)作以及多種氣體校準(zhǔn)。艾里卡特提供眾多型號(hào),專門定制用于高達(dá)5000 slpm或者低至2.5 sμlm/0.0025sccm的流速。常用型號(hào)M-0.5SCCM-D M-1SCCM-D M-2SCCM-D M-5SCCM-D M-10SCCM-D M-20SCCM-D M-50SCCM-D M-100SCCM-D 耐腐蝕型號(hào)ALICAT氣體流量計(jì) MS-0.5SCCM-D MS-1SCCM-D MS-2SCCM-D MS-5SCCM-D MS-10SCCM-D MS-20SCCM-D MS-50SCCM-D MS-100SCCM-D MWB便攜式氣體流量計(jì) MB-0.5SCCM-D MB-1SCCM-D MB-2SCCM-D MB-5SCCM-D MB-10SCCM-D MB-20SCCM-D MB-50SCCM-D MB-100SCCM-D MB-200SCCM-D MB-500SCCM-D 便攜式耐腐蝕氣體流量計(jì) MBS-0.5SCCM-D MBS-1SCCM-D MBS-2SCCM-D MBS-5SCCM-D MBS-10SCCM-D MBS-20SCCM-D MBS-50SCCM-D MBS-100SCCM-D MBS-200SCCM-D MBS-500SCCM-D 便攜式耐腐蝕氣體流量計(jì) MBS-0.5SCCM-D MBS-1SCCM-D MBS-2SCCM-D MBS-5SCCM-D MBS-10SCCM-D MBS-20SCCM-D MBS-50SCCM-D MBS-100SCCM-D MBS-200SCCM-D MBS-500SCCM-D 便攜式高壓型氣體流量計(jì)MBQ-10SCCM-D MBQ-20SCCM-D MBQ-50SCCM-D MBQ-100SCCM-D MBQ-200SCCM-D MBQ-500SCCM-D MBQ-1SLPM-D MBQ-2SLPM-D MBQ-5SLPM-D MBQ-10SLPM-D MBQ-20SLPM-D MBQ-50SLPM-D MBQ-100SLPM-D MBQS-10SCCM-D MBQS-20SCCM-D MBQS-50SCCM-D MBQS-100SCCM-D MBQS-200SCCM-D MBQS-500SCCM-D MBQS-10SCCM-D MBQS-20SCCM-D MBQS-50SCCM-D MBQS-100SCCM-D MBQS-200SCCM-D MBQS-500SCCM-D 便攜式低壓損氣體流量計(jì) MWB-0.5SCCM-D MWB-1SCCM-D MWB-2SCCM-D MWB-5SCCM-D MWB-10SCCM-D MWB-20SCCM-D MWB-50SCCM-D MWB-100SCCM-D 美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計(jì)M/MS/MB/MW/MWB/MQ/MQB艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器MC/MCR/MCS/MCW/MCRW/MCQ/MCRQ 價(jià)格M-1000SLPM-D、M-2000SLPM-D、M-3000SLPM-D、M-4000SLPM-D、M-5000SLPM-D高速氣體流量計(jì)
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計(jì)M/MS/MB/MW/MWB/MQ/MQB艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器MC/MCR/MCS/MCW/MCRW/MCQ/MCRQ
ALICAT壓力控制器和壓力傳感器能保持過程系統(tǒng)溫度且可重復(fù)。艾里卡特為您提供多種壓力控制定制方案,確保適用于流動(dòng)、端閉或真空應(yīng)用。密閉容器用雙閥型號(hào),能有效減少由于持續(xù)排氣造成的昂貴氣體的浪費(fèi)。儀表可配備絕壓、表壓或差壓壓力傳感器,實(shí)現(xiàn)對(duì)高達(dá)3000 psia/psig(或者150 psid)以及低至10托的壓力進(jìn)行控制。常用型號(hào): 艾里卡特PC系列絕壓和表壓壓力控制器采用小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。 絕壓: PC-10TORRA-D (IVC for vacuum) PC-100TORRA-D (IVC for vacuum) PC-15PSIA-D PC-30PSIA-D PC-100PSIA-D PC-500PSIA-D PC-1000PSIA-D PC-1500PSIA-D PC-2000PSIA-D PC-3000PSIA-D 表壓: PC-2INH2OG-D PCAS-1PSIG-D PC-1PSIG-D PC-5PSIG-D PC-15PSIG-D PC-30PSIG-D PC-100PSIG-D PC-500PSIG-D PC-1000PSIG-D PC-1500PSIG-D PC-2000PSIG-D PC-3000PSIG-D 艾里卡特PCP系列絕壓和表壓壓力控制器采用**孔徑的小型閥門,適用于非腐蝕性氣體。 絕壓: PCP-15PSIA-D PCP-30PSIA-D PCP-100PSIA-D 表壓: PCP-2INH2OG-D PCPAS-1PSIG-D PCP-1PSIG-D PCP-5PSIG-D PCP-15PSIG-D PCP-30PSIG-D PCP-100PSIG-D 艾里卡特PCH系列絕壓和表壓壓力控制器將兩個(gè)小型閥門并排成對(duì),用作一個(gè)閥門,適用于非腐蝕性氣體。 絕壓: PCH-15PSIA-D PCH-30PSIA-D PCH-100PSIA-D PCH-500PSIA-D 表壓: PCH-2INH2OG-D PCHAS-1PSIG-D PCH-1PSIG-D PCH-5PSIG-D PCH-15PSIG-D PCH-30PSIG-D PCH-100PSIG-D PCH-500PSIG-D 艾里卡特PCR系列絕壓和表壓壓力控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制,適用于非腐蝕性氣體。 絕壓: PCR-10TORRA-D (IVC for vacuum) PCR-100TORRA-D (IVC for vacuum) PCR-15PSIA-D PCR-30PSIA-D PCR-100PSIA-D PCR-500PSIA-D 表壓: PCR-2INH2OG-D PCRAS-1PSIG-D PCR-1PSIG-D PCR-5PSIG-D PCR-15PSIG-D PCR-30PSIG-D PCR-100PSIG-D PCR-500PSIG-D