美國ALICAT艾里卡特M系列氣體質(zhì)量流量計
M系列氣體質(zhì)量流量計 可同時測量98種以上氣體的質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度,量程比0.01%到100%。
規(guī)格、特性和自定義選項
標準規(guī)格
量程范圍:0.5 SCCM至5,000 SLPM (氫氣10,000 SLPM)
測量范圍:0.01% – 100%
精度:讀數(shù)的±0.6%或滿量程的±0.1%,以較高者為準
可選高精度:讀數(shù)±0.5%或滿量程±0.1%,以較大者為準
重復性:讀數(shù)的0.1%和滿量程的0.02%
響應時間:< 10ms
工作溫度:-10℃~ +60℃
工作壓力:160 PSIA (11 barA)
規(guī)格表
0.5 SCCM full scale to 5 SCCM full scale ranges
10 SCCM full scale to 20 SLPM full scale ranges
50 SLPM full scale to 10,000 SLPM full scale ranges
質(zhì)量流量計操作手冊
特點及附件
同時測量體積流量,質(zhì)量流量,氣體壓力,氣體溫度。
現(xiàn)場可調(diào)的工程單位和STP/NTP條件。
M系列:標準型流量計。適用于非腐蝕性氣體常規(guī)應用,如流量測量,泄漏測試,流量比對校驗。
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計M/MS/MB/MW/MWB/MQ/MQB艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器MC/MCR/MCS/MCW/MCRW/MCQ/MCRQ
常用型號M-1000SLPM-D、M-2000SLPM-D、M-3000SLPM-D、M-4000SLPM-D、M-5000SLPM-D
MS系列:耐腐蝕型流量計。適用于腐蝕性氣體流量測試。
腐蝕性氣體(MCS系列)
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中,還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置(即MCS系列)可供選擇。該配置中,我們將閥門升級為303不銹鋼閥門,傳感器升級為316L不銹鋼傳感器,彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程,需采用316L不銹鋼,在這種情況下,我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門(PCA型)和流量儀表主體部分升級為316L材質(zhì)。
結(jié)構(gòu)選項
通訊協(xié)議(模擬通訊,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
顯示屏(單色或彩色,內(nèi)置或面板安裝)
工藝連接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭)
彈性體材料(氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂)
可從98+預加載NIST可溯源氣體校準選擇過程氣體。
定義和存儲多達5種成分氣體的20種定制氣體混合物。
通過集成觸摸板從背光顯示和控制配置中讀取測量值。
可選集成流量累加器和報警器。
探索設備特性
配件
FlowVision 軟件(download)
電源,電纜和配件單獨出售
構(gòu)成和性能選項
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